Caratterizzazione di steerer elettromagnetici per il controllo di fasci ionici keV

The goal of this thesis work is to obtain the relationship between the current injected into the magnetic steerers of the ion implanter Installed at the Physics Department and the displacement of the ion beam for different masses and energies of the accelerated ions. The measurements have been performed using a silicon wafer covered with photo resist (photosensitive substance), which color changed locally upon ion implantation. The displacement of the beam is measured from the marks left on the target. The result is a set of data of beam displacement as a function of the applied current to the steerers. Thus, the relation between the beam deviation, the masses and the energies of the ion species accelerated is found.

L’obbiettivo del presente lavoro di tesi è quello di ottenere una relazione tra corrente iniettata negli steerer magnetici dell’impiantatore ionico installato presso il Dipartimento di Fisica e la deviazione del fascio ionico per diverse masse ed energie degli ioni accelerati. Le misure sono state effettuate irraggiando un wafer di silicio su cui è stato depositato del photo resist (polimero fotosensibile). Il set di dati è stato acquisito misurando lo spostamento del fascio ionico in funzione delle correnti applicate, in base alle variazioni ottiche dei punti irraggiati sul bersaglio. Il risultato è una relazione tra corrente applicata e deviazione del fascio, che dipende dalla massa e dall’ energia della specie ionica accelerata.