La tecnica IBIC, acronimo di Ion Beam Induced Charge, è una tra le principali tecniche IBA ( Ion Beam Analysis ). Essa sfrutta fasci di ioni, accelerati a energie dell'ordine del MeV, per ricavare informazioni sulle proprietà elettroniche dei materiali in esame. In particolare è possibile caratterizzare, dal punto di vista elettronico, dispositivi a semiconduttore, anche ultimati.
principi e applicazioni della tecnica IBIC
PISTAMIGLIO, CRISTIAN
2009/2010
Abstract
La tecnica IBIC, acronimo di Ion Beam Induced Charge, è una tra le principali tecniche IBA ( Ion Beam Analysis ). Essa sfrutta fasci di ioni, accelerati a energie dell'ordine del MeV, per ricavare informazioni sulle proprietà elettroniche dei materiali in esame. In particolare è possibile caratterizzare, dal punto di vista elettronico, dispositivi a semiconduttore, anche ultimati.File in questo prodotto:
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https://hdl.handle.net/20.500.14240/70462